[摘要]高純甲烷是一種高純度氣體，純度一般在99.99%以上，適用于對純度要求較高的領域，如電子器件、半導體制造等領域。
高純甲烷是一種高純度氣體，純度一般在99.99%以上，適用于對純度要求較高的領域，如電子器件、半導體制造等領域。高純甲烷是一種無色、無味、易燃的氣體，它的分子式為CH4，分子量為16.043，沸點為-161.5°C，熔點為-182.5°C。高純甲烷的蒸汽壓力為101.325kPa，溫度為20°C時，甲烷在空氣中的允許濃度為5%~15%。高純甲烷的爆炸范圍為5%~15%，分為爆炸上限和爆炸下限，爆炸極限隨著壓力的升高而降低。
高純甲烷的制備方法主要有兩種，一種是合成法，另一種是液化分離法。合成法是通過氫氣和氯氣在一定條件下反應制得，這種方法制得的高純甲烷純度一般在99.99%以上。液化分離法是通過天然氣液化分離得到高純甲烷，這種方法制得的高純甲烷純度一般在99.99%以上。
高純甲烷的特點是純度高、雜質含量低、氣體分子單一，具有較高的穩(wěn)定性和可控性。它廣泛應用于電子器件、半導體制造等領域，是一種不可或缺的高純氣體。同時，在使用高純甲烷時需要注意安全問題，避免發(fā)生安全事故。